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PROCOM

PROCOM : Applications

PROCOM 소프트웨어의 일반적인 목적은 MOCVD reactor 시뮬레이터이며 reactor geometry/design의 종류에 제한을 두지 않으며 증착 공정에 있어 많은

chemical species를 포함하고 있습니다.

PROCOM : Physical Models and Advanced Features

MOCVD reactor의 임의의 2차원 단면 또는 완전한 3D 구조에 대해 Finite Element Method(FEM)은 물리·화학적 공정을 제어하여 많은 불완전한 미분 방정식을 풉니다.

• Chemical kinetics models.

• Mass transport/conservation equations.

• Navier-Stokes fluid dynamic equations.

• Heat transfer equation.

• Complete chemical species library.

• Transient and steady state simulations.

Evaluation

LASTIP : Capabilities

편리한 Graphic User Interface(GUI)는 setup, MOCVD 증착 파라미터 입력 및

시뮬레이션 결과를 보는 것을 이용될 수 있습니다.

• Chemical species distribution in 2/3D may be produced for both gas and surface

   species.

• Gas chemical reaction rates distribution in 2/3D.

• Flow velocity distribution in 2/3D.

• Temperature distribution in 2D/3D.

• Film deposition rate as a function in the 2/3D model.

• Deposition rate as a function of temperature in the quick analysis of 1 level

  (well-mixed model).

• Film composition as a function of position (Uniformity analysis).

• Dopant and/or other impurities distribution.

이 프로그램의 평가 버전을 사용을 원하시는 분들은 당사로

연락을 주시기 바랍니다.