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CUSPREM
CSUPREM : Capabilities
CSUPREM : Applications
• Implantation
• Oxidation
• Etching
• Diffusion
• FINFET
• MOSFET
• MEMS
• Solar cell
• Output the structure to APSYS
CSUPREM은 MEMS와 IC 소자를 위한 1D,2D, 그리고 3D 공정 시뮬레이터로 등각 증착, 이방성 에칭. 이온 주입, 열처리, 산화, 확산 등을 시뮬레이션 할 수 있습니다.
CSPUREM mesh 구조는 thin film에서 산화, 증착, 또는 에칭 등의 공정이 이루어 질 때
정확한 boundary를 핸들링하기 위해 디자인 되었다.
그것은 다차원 효과, overlying films에 의해 야기되는volume expansion과 stress gradient를 설계합니다.
Evaluation
이 프로그램의 평가 버전을 사용을 원하시는 분들은 당사로
연락을 주시기 바랍니다.
